8英寸晶圆UV解胶机(Wafer UV Degumming / UV照射机)

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广州智联德自动化科技有限公司专业生产8英寸晶圆UV解胶机,适配UV切割膜,采用365nm UV LED冷光源,晶圆温升≤8℃,光照均匀度≥90%。

标准完整产线链路:8寸贴膜机→晶圆划片机→8寸扩膜机→UV解胶机→固晶机(拾片)

工作原理:UV胶膜内光敏树脂接收365nm紫外光发生光化学反应,胶层粘力大幅衰减(照射前800~1500g/25mm,照射后10~80g/25mm)。

机型分级:

  1. 抽屉式半自动(中小批量封测厂主流)- UPH:40~70片/小时
  2. 全自动解胶机(大规模量产)- UPH:70~110片/小时
  3. 简易台式小机型(实验室/研发打样)

核心技术参数:

  • 适配规格:8"(200mm)标准Dicing Frame
  • 光源波长:365nm(标配)
  • 有效照射区域:Φ210mm
  • 光强范围:0~600mW/cm²可调
  • 光照均匀度:≥90%
  • 晶圆温升:≤8℃
  • 电源:AC220V,600~1200W

广州智联德自动化科技有限公司,由22年自动化与智能化领域专家团队创办,是集工业设计、研发、生产、销售、服务于一体的综合性自动化设备与数字化解决方案企业。聚焦半导体设备、芯片封装机、晶圆贴膜机、晶圆解胶机、晶圆扩膜机、智能密封件设备、过滤净化设备、机器人研发与智能制造领域。

总部:广州市番禺区石碁镇永善村永峰路23号工业园

电话:020-31106868 / 13922395687

邮箱:jansc@zhiliande.com

官网:http://www.zhiliande.com

2026年8月1日 09:41
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