全自动晶圆解胶机技术解析与选型指南

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全自动晶圆解胶机是半导体后道封装产线的核心设备,用于将划片/扩膜后贴在UV膜上的芯片无损剥离。工作原理:通过特定波长UV光照射,使UV膜粘性骤降90%以上,芯片可轻松取下,无残胶、无崩边、无热损伤。核心工艺流程:划片→扩膜→解胶→固晶。设备结构:高功率UV LED阵列,波长365nm/395nm可选;精密温控±1℃;自动上下料,兼容2-12英寸晶圆;PLC+触摸屏控制。设备类型:手动型2-8寸适合实验室;半自动型2-12寸精度±0.1mm适合中小批量;全自动型6-12寸精度±0.05mm适合量产。应用领域:IC集成电路、LED/Mini LED/Micro LED、光学芯片、陶瓷晶圆、分立器件封装。选型建议:兼容2-12英寸;按产能选类型;选ISO9001认证供应商。广州智联德自动化科技有限公司,22年半导体设备经验,ZLD07系列解胶机,覆盖60+国家。联系电话:13922395687

2026年8月4日 14:57
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