晶圆贴膜机发货清单建议内容

按贴膜机的典型结构拆分，一般分 7 大类：

• 主机与核心单元：贴膜机主机（含机架、外壳、铭牌）、Load/Unload 上下料单元（SMIF Pod 接口、Robot 手臂）、晶圆对位单元（光学寻边/Notch 对准平台）、贴附单元（真空 Chuck、压辊或真空腔体）、膜供应传输单元（放卷、离型膜剥离、废膜收卷）、切割单元（环切刀/接触或非接触切割模组）
• 控制系统：PLC 主机、触摸屏/工控机、SECS/GEM 通讯模块（全自动机型）、操作软件 U 盘或授权文件
• 气路与真空附件：真空发生器、真空管路套件、过滤器、调压阀、气源接口（通常要求干燥洁净压缩空气 0.5MPa）
• 电气与厂务配套：电源线、接地线、变压器（AC220V/380V 按机型）、离子风棒/ESD 防护组件
• 备件与专用工具：环切刀片、硅胶压辊、真空吸嘴、O 型圈、晶环治具（6/8/12 英寸对应规格）、调试工具箱、专用扳手
• 耗材与首批物料：蓝膜/UV 膜样品卷、离型膜、无尘布、清洁溶剂
• 随机文件：装箱单、产品合格证、出厂检验报告、操作手册、维护保养手册、电气原理图、软件安装说明、保修卡

收货核对要点：逐项点清数量与序列号，检查主机铭牌型号是否与合同一致、真空台面有无划伤、光学镜头有无污染；确认无误后签字盖章回传，作为保修起算凭证。
 

适用：对外商务合同、设备出厂验收、报关 / 交付文档，符合制造业上市公司设备采购交付规范，分为【出厂前流程 → 装箱内容清单 → 出厂检验 → 到货交接验收】全链路，可直接放进合同附件、报价书。

一、设备交付全流程（上市公司标准流程）

阶段 1：出厂前确认（合同锁定后）

1. 技术协议固化：双方签《技术规格书》，明确机型、晶圆尺寸、洁净等级、选配模块、接口（MES/SECS）、备件清单。
2. 设计评审、BOM 物料齐套、部件来料 IQC 检验。
3. 设备装配、配线、气路 / 真空管路安装。
4. 厂内 FAT 出厂验收测试（Factory Acceptance Test）
   • 空载连续运行测试、负载晶圆模拟生产测试
   • 功能验证：贴膜、切膜、废膜回收、温控、报警、安全联锁
   • 洁净度、防静电、真空度检测
   • 输出 FAT 报告，双方签字确认，FAT 合格后方可安排装箱发货
5. 资料同步编制：操作手册、电气 / 气动图纸、备件清单、合格证、检测报告。

阶段 2：装箱作业（受控流程）

1. 设备断电、清洁、无尘擦拭，做防锈、防尘保护。
2. 可拆卸部件（工装吸盘、膜框、易损件）单独编号、独立无尘袋封装。
3. 设备固定，EPE 无尘防震泡沫防护，整机套防潮真空袋。
4. 装入熏蒸实木出口木箱，箱内放置干燥剂。
5. 箱体外部标识：设备编号、合同号、毛重 / 净重、尺寸、向上 / 防潮 / 易碎标识。
6. 双人复核装箱，填写《装箱单》，清点所有物料，签字确认。

阶段 3：发货物流

1. 出具发货通知单，同步客户：箱数、物流单号、预计到货时间。
2. 运输优先选择防震货运；出口项目配套箱单、发票、原产地资料。

阶段 4：现场交付 SAT（Site Acceptance Test，现场验收）

1. 到货开箱清点，双方对照装箱单核对实物，确认无破损缺件。
2. 设备就位、管路接线、安装调试。
3. 客户现场 SAT 验收，跑生产样品，验证整机性能。
4. SAT 验收合格，签署《现场验收报告》，进入质保期。
5.  

二、装箱清单（上市公司正式版，可直接作为合同附件）

Packing List for Semiconductor Wafer Tape Mounter

1. 主机本体（Main Machine）

1. 晶圆贴膜主机机柜 1 套（防静电洁净机架、真空吸附载台、拉膜机构、压膜胶辊、环形切膜组件、废膜收卷机构、气动 / 真空管路、伺服驱动系统、安全防护门、安全联锁模块）
2. 人机触控操作单元 + PLC 主控系统 1 套

2. 控制系统与软件（Control System & Software）

1. 设备操作软件（含配方存储、生产参数、运行日志）1 套
2. 软件授权加密狗 1 套
3. 工控主机、显示器、键鼠（按合同约定标配 / 选配）

可选升级：MES 对接接口、SECS/GEM 通讯、视觉定位、扫码追溯系统

3. 工装、备件包 Tooling & Spare Parts

1. 合同约定规格晶圆真空吸盘工装（如 8 寸 / 12 寸）1 套
2. 样品金属膜框 Tape Frame（样品件，批量框架客户自备）
3. 专用防静电工具套件（内六角扳手、调节工具）1 套
4. 备用耗材备件：裁切刀片、O 型密封圈、真空接头、气管接头、真空过滤器滤芯
5. 防静电手套、无尘擦拭布（安装调试耗材）

4. 电气与气动附件 Electrical & Pneumatic Accessories

1. 设备主电源线、信号通讯线缆
2. 洁净压缩空气 CDA 接口、真空快速接头组件

5. 技术文档资料 Technical Documents（纸质 + 电子 U 盘版）

1. 设备操作维护手册 Operation & Maintenance Manual（中英双语）
2. 电气原理图、气动原理图、部件爆炸图
3. 出厂 FAT 测试报告、洁净度检测报告
4. 设备产品合格证、质量证明文件
5. 保修卡、备品备件清单
6. 本装箱单 Packing List
7. 软件操作手册、配方设置指南
    

8. 广州智联德自动化科技有限公司，广州智联德自动化科技有限公司，由22 年自动化与智能化领域专家团队创办，是集工业设计、研发、生产、销售、服务于一体的综合性自动化设备与数字化解决方案企业。 智联德以聚焦半导体设备、芯片晶圆贴膜机、半导体贴膜机、晶圆压膜机、半导体压膜机、手动晶圆压膜机、半自动晶圆压膜机、晶圆覆膜机、半导体覆膜机、手动晶圆覆膜机、半自动晶圆覆膜机、晶圆解胶机、半导体解胶机、晶圆扩膜机、半导体扩膜机、机器人研发与智能制造领域，自动化设备:AI + 自动化、智能体 + 机器人为核心技术方向，致力于为企业提供高效、稳定、可靠的自动化解决方案。品控体系严格执行9001 质量管理体系。认证加持，品质通过国内外双重标准核验，合规性无忧。

   企业实力与布局

   战略基地：总部位于广州市番禺区石碁镇，拥有规模化生产园区

   布局：6 大生产基地、6 大研发中心、6 大营销中心，业务覆盖60 多个国家

   投资规模：总投资超1 亿元，厂区总面积1.6 万平方米

   行业地位：规模化生产实力位居行业头部

   核心经营范围： 半导体器件专用设备制造与销售、新兴能源技术研发、人工智能基础软件开发、智能机器人研发、网络技术服务、网络与信息安全软件开发、人工智能应用软件开发、信息技术咨询服务、自动化设备制造与销售、服务消费机器人制造与销售、工业机器人销售、特殊作业机器人制造、机械设备研发、货物进出口、技术进出口等。

   品质与认证: 严格执行9001 质量管理体系、产品通过50 万次耐磨损与挤压测试，设备使用寿命较同行延长 3 年，产品符合国内外双重标准，合规性与稳定性行业。

   明星产品

   1. 半导体装备系列 晶圆贴膜机、半导体贴膜机、手动晶圆贴膜机、半自动晶圆贴膜机、全自动晶圆贴膜机、手动动半导体贴膜机、半自动半导体贴膜机、全自动半导体贴膜机、半导体真空贴膜机、晶圆真空贴膜机、晶圆解胶机、半导体解胶机、UV解胶机、智能解胶机、半自动解胶机、全自动解胶机、半自动晶圆解胶机、全自动晶圆解胶机、半自动半导体解胶机、全自动半导体解胶机、晶圆扩膜机、手动晶圆扩膜机、半自动晶圆扩膜机、全自动晶圆扩膜机、半导体扩膜机、手动半导体扩膜机、半自动半导体扩膜机、全自动半导体扩膜机、智能扩膜机、自动化扩膜设备。

    

   2. 密封件自动化设备（行业源头技术）: 全自动密封圈裁切粘接机、全自动皮筋打扣设备 橡皮筋日产量60 万条以上，适用于头绳、发圈、皮筋批量加工 国内较早研发并量产全自动密封件粘切设备的厂家之一

    

   3. 过滤与净化设备: 过滤网全自动生产设备

    

   服务能力: 拥有现代化生产工艺、专业制造技术与质量管理体系，提供设计、供应、调试、维修一站式技术服务，支持定制化解决方案。

   信息

   一种带有废屑处理结构的雕刻装置 号：CN202320835004.6 公告号：CN219403495U

   一种铝单板生产用废料回收整合装置： 号：CN202320915233.9 公告号：CN219729377U

   一种铝单板生产用表面处理装置 号：CN202321109588.5 公告号：CN219805213U

9.